首页 > 过刊浏览>2007年第38卷第8期 >205-207. DOI:10.3969/j.issn.1000-1298.2007.8.070852
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基于AFM的纳米机械刻蚀加工研究
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    结合原子力显微镜实验及分子动力学模拟，研究刻蚀加工机理，分析了针尖弹性模量、几何形状、磨损等工具因素，刻蚀力、进给量、加工速度等工艺因素，加工材料性质、表面质量等工件因素对加工的影响及作用机理。

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引用本文

蒋洪奎,朱春耕,胡礼广,姚汤伟.基于AFM的纳米机械刻蚀加工研究[J].农业机械学报,2007,38(8):205-207.

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